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QRUI-1系列探針臺(tái)

描述:QRUI-1系列探針臺(tái):基于高校教育與實(shí)驗(yàn)室而研發(fā)的基礎(chǔ)型晶圓測(cè)試探針臺(tái)。

更新時(shí)間:2022-09-06
訪問次數(shù):2078
詳情介紹
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QRUI-1系列探針臺(tái)產(chǎn)品簡(jiǎn)介:

       QRUI-1系列探針臺(tái)是我司一款基于高校教育與實(shí)驗(yàn)室而研發(fā)的基礎(chǔ)型晶圓測(cè)試探針臺(tái)。其結(jié)構(gòu)緊湊 ,設(shè)計(jì)精密 ,價(jià)格實(shí)惠 ,在高等院校教學(xué)和小型實(shí)驗(yàn)室科研過程中得到廣泛運(yùn)用。配合對(duì)應(yīng)的儀器儀表,可以用于測(cè)試各類器件的  IV/CV,PIV,光電信號(hào)等。也可以放置于手套箱內(nèi) ,配合特殊氣氛使用。一般適用于學(xué)校和工廠小型實(shí)驗(yàn)室。


QRUI-1系列探針臺(tái)產(chǎn)品優(yōu)勢(shì):

1.探針臺(tái)與顯示器一體化設(shè)計(jì) ,大大減小了設(shè)備的占地空間

2.具備自適應(yīng)減震系統(tǒng) ,一定程度上可防止外界震動(dòng)的干擾

3.U 型平臺(tái)鍍鎳設(shè)計(jì),不僅增大了針座的加載空間 ,還提高了針座平臺(tái)和針座之間的吸附力


詳細(xì)參數(shù):

 

                  產(chǎn)品型號(hào)    

 

技術(shù)參數(shù)                                          

QRUI-1-100

QRUI-1-150

QRUI-1-200

QRUI-1-300

 

 

探針臺(tái)

本體

電壓電流(可定制)

500V/1A(標(biāo)準(zhǔn))

500V/1A(標(biāo)準(zhǔn))

500V/1A(標(biāo)準(zhǔn))

500V/1A(標(biāo)準(zhǔn))

材料

航空鋁

自適應(yīng)減震系統(tǒng)

具備自適應(yīng)減震系統(tǒng)  ,    一定程度上可防止外界震動(dòng)的干擾

卡盤大小

4 英寸 ,360 度轉(zhuǎn)動(dòng) ,可微調(diào)

6 英寸  ,360 度轉(zhuǎn)動(dòng)  ,可微調(diào)

8 英寸 ,360 度轉(zhuǎn)動(dòng) ,可微調(diào)

12 英寸 ,360 度轉(zhuǎn)動(dòng) ,可微調(diào)

卡盤行程和精度

4 英寸*4 英寸 ,精度  2um

6 英寸*6 英寸  ,精度  2um

8 英寸*8 英寸  ,精度  2um

8 英寸*8 英寸  ,精度  2um

卡盤吸附方式

真空吸附  ,    可選擇環(huán)形吸附或者多孔吸附    (適用于薄片或者射頻器件)

背電極測(cè)試功能

具備  ,樣品臺(tái)電學(xué)獨(dú)立懸空  ,帶 4mm 香蕉頭插口

針座平

臺(tái)

材質(zhì)

U 型平臺(tái)  ,鍍鎳  ,與探針座之間具備更強(qiáng)吸附力

大小

最多可放置4個(gè)探針座

最多可放置6個(gè)探針座

最多可放置8個(gè)探針座

最多可放置12個(gè)探針座

 

顯示系

統(tǒng)

顯微鏡

體式顯微鏡/視頻顯微鏡  (注意視場(chǎng))  +CCD成像系統(tǒng)

倍率范圍

15X~200X/60X~420X

調(diào)焦范圍

50.8mm

顯微鏡移動(dòng)

顯微鏡可繞立柱360度旋轉(zhuǎn) ,帶2英寸高精度顯微鏡調(diào)焦機(jī)構(gòu) ,帶顯示器支架

CCD 成像系統(tǒng)

200 萬/500萬像素 ,幀率 60fps ,帶拍照/錄像/測(cè)量功能等功能

 

探針座

種類

DMP-200/100/80/75

X-Y-Z 行程

12mm-12mm-12mm

機(jī)械精度

0.5um/0.7um/2um/3um

夾具

漏電精度

10pA/100fA/20fA

接口形式

香蕉頭/鱷魚夾/coax/triax接口/SMA/裸線等

其它

選件

屏蔽箱/防震桌/射頻/同軸/三軸加熱卡盤/顯微鏡萬向支架等

電力需求

220V/50HZ,10A


 

詳細(xì)配置方案可討論后給出


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